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潔淨室專用氣體處理設備

此一設備係將空氣中所含的酸性氣體,如氯化氫、氟化氫、溴化氫、二氧化硫、硫化氫與酸性離子如NO2-、NO3-、 PO43-,鹼性氣體如氨氣、鹼性離子如NH4+予以有效去除,確保無塵室空氣品質的潔淨至安全標準。

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